產品搜索
CNC影像測量系統「NEXIV VMZ-S3020」
適合車載電子、半導體零部件的NEXIV新系列
「NEXIV VMZ-S3020」
尼康株式會社（社長：馬立 稔和、東京都港區 ）之子公司，Nikon Solution株式會社（社長：園田 晴久、東京都品川區），針對電子、半導體等精密零部件開發了CNC影像測量系統全新「NEXIVVMZ-S」系列。
CNC影像測量系統「NEXIV」是運用尼康*的光學技術和圖像處理技術，可自動測量電子、半導體零部件的裝置。通過圖像分析與高速準確的邊緣檢測，對于復雜特殊形狀的被檢物品也能夠快速地進行測量。此次發售的「NEXIV VMZ-S」系列產品不僅保持了以往機型「NEXIV VMZ-R」系列產品的精度，還實現了更高的產能。
「NEXIV VMZ-S3020」將出展「JIMTOF2020 Online」（2020年11月16日～12月11日）在線展會。
另外，大尺寸載物臺機型「NEXIV VMZ-S4540」以及「NEXIV VMZ-S6555」也在開發中，預計于2021年下半年依次發售。
產品名 | CNC影像測量系統「NEXIV VMZ-S3020」 |
訂單接受時間* | 2020年11月12日 |
*開始發貨時間為2021年1月。
開發的由來
近年來，汽車行業在自動駕駛與電動汽車市場擴大的背景下，電氣化極速發展，用于汽車的電子、半導體零部件不斷增加。由于關乎生命安全，所以采用的零件也需要非常嚴格的品質管控，對測量設備的要求也隨之提高。所以，尼康研發并推出了適合于車載電子、半導體零部件等測量用途的CNC影像測量系統「NEXIV VMZ-S」系列。
「NEXIV VMZ-S3020」在高精度線性光柵尺和精密載物臺提供高精度測量的同時，通過載物臺移動和圖像處理的高速化，與以往機型「NEXIV VMZ-R」系列產品相比實現了更高的產能。保證了客戶*的精度和再現性，縮短了測量時間。
通過無失真的高品質圖像，即使不在視場中心附近也能得到可靠的測量結果。另外，根據被檢測物品的形狀通過同軸表面光、底部透射光、8個扇面環形光的選擇與光量?照射方向的調整，可以敏銳的撲捉到難以檢測的邊緣。而且，通過1000點/秒的高速激光掃描，可以取得樣品的截面形狀，也可以對應高度方向的形狀評價。滿足各種各樣零部件的測量需求。
通過系列產品通用的尺寸測量軟件「NEXIV AutoMeasure」，可以暢快有效地進行尺寸測量。另外，以簡單形狀為對象，增加了將測量程序制作工序的一部分自動化的功能。
而且，為了滿足使用NEXIV系列顧客的要求，用于操控載物臺和測量頭移動的操縱桿單元，運用了更易操作的設計。
量程（X × Y × Z）
| 300 × 200 × 200 mm （TZ型 使用低倍物鏡時：250 × 200 × 200 mm） |
小讀數 | 0.01 μm |
大承載重量 | 20 kg（保證精度的載重：5 kg） |
測量精度 （L是測量的長度（㎜）） | EUX,MPE, EUY,MPE（X軸、Y軸精度）： 1.2 + 4L/1000 μm EUXY,MPE（XY軸精度）：2.0 + 4L/1000 μm EUZ,MPE （Z軸精度）：1.2 + 5L/1000 μm |
相機 | 黑白/彩色1/3英寸CMOS |
變焦鏡頭型號* （倍率?視場） | ?1型：（0.5～7.5x ? 9.33 x 7 ～ 0.622 x 0.467 mm）
?2型：（1～15x ? 4.67 x 3.5 ～ 0.311 x 0.233 mm）
?3型：（2～30x ? 2.33 x 1.75 ～ 0.155 x 0.117 mm）
?4型：（4～60x ? 1.17 x 0.88 ～ 0.078 x 0.058 mm）
?TZ型 ：（1～120x ? 4.67 x 3.5 ～ 0.039 x 0.029 mm）
?A型：（0.35～3.5x? 13.3 x 10 ～ 1.33 x 1 mm）
|
自動對焦 | 激光自動對焦（A型是選配）、圖像自動對焦 |
燈光* | ?1～4型: 同軸表面光、底部透射光、8個扇面的環形光（全部采用白色LED光源/1, 2, 3型3種角度、4型1種角度）
?TZ型: 同軸表面光、底部光（VMZ-S3020的低倍除外）、暗場照明
?A型: 同軸表面光、底部光、8個扇面的環形光 （全部采用白色LED光源/1種角度） |
電源規格 / 額定電流 | AC100-240V、50/60Hz / 4A – 2A |
尺寸（W × D × H） / 重量 | 本體+底座: 700 × 730 × 1793 mm / 約265 kg 控制箱: 190 × 450 × 450 mm / 約12 kg |
占地大小（W × D） | 2700 × 2400 mm |
*根據應用的不同，有6種鏡頭型號可供選擇。不同型號鏡頭所配備的燈光照明系統也會有所不同.
